两者都是以光波波长为标准对被测长度进行精密度量的仪器，区别如下：

   (1)单频激光干涉仪中，ICB2FL02G可动的M2镜移动时引起两臂相位差改变，直接检测的是两臂光束干涉条纹强度和对比度的变动，属于相位检测系统；

  双频测长仪中，M2镜移动引起多普勒频移，直接检测的是测量信号与参考信号的频率差，所以，属于频率调制检测系统。

   (2)当M2镜不动时，前者的干涉信号是介于最亮与最暗之间的直流信号，而后者的干涉信号是频率为f2 - fi的交流信号；当M2镜移动时，前者的干涉信号是在最亮与最暗之间缓慢变化，而后者是使原来的交流信号频率增减Af，仍然是交流信号。后者可用高放大倍数的交流放大器增强较弱的干涉信号，克服由于光强衰减、大气扰动及电子线路直流漂移等因素对测量精度的影响。目前，双频测长的精度已超过0. Olym，是工业测长中较精密的仪器。

   (3)单频干涉仪对装置的机械振动十分敏感，因此对工作台稳定性有严格要求。振动越强，干涉条纹的来回移动越激烈，计数时必须相应地进行加减；双频测长仪的干涉条纹是运动的，按时间顺序入射到光检测器上，因而对振动不敏感，防振要求不严，可以用于计量室之外的车间工作环境等。