三角测量原理示
发布时间:2015/5/10 21:37:48 访问次数:2124
从图6 -35(b)中可以看出,斜射式BAS40 E6327入射光的光点照射在被测面的不同点上,无法知道被测面中某点的位移情况,而直射式却可以。因此,当被测面的法线无法确定或被测面面形复杂时,只能采用直射式结构。
在上述的三角法测量原理中,要计算被测面的位移量,需要知道距离o,而在实际应用中,一般很难知道口的具体值,或者知道其值,但准确度不高,影响系统的测试准确度。实际应用中可以采用另一种表述方式,如图6 - 36所示,有下列关系:z式中,6为激光器光轴与接收透镜光轴之间的距离镜焦距;髫’为接收光点到透镜光轴的距离。其中6和厂’均已知,只要测出省’的值就可以求出距离石。另外,高准确度地标定6和值,就可以保证一定的测试不确定度。
激光三角法测量技术的测量准确度受传感器自身因素和外部因素的影响。传感器自身影响因素主要包括光学系统的像差、光点大小和形状、检测器固有的位置检测不确定度和分辨力、检测器暗电流和外界杂散光的影响、检测器检测电路的测量
准确度和噪声、电路和光学系统的温度漂移等。测量准确度的外部影响因素主要有被测表面倾斜、被测表面光泽和粗糙度、被测表面颜色等。这几种外部因素一般无法定量计算,而且不同的传感器在实际使用时会表现出不同的性质,因此在使用之前必须通过实验对这些因素进行标定。
根据三角法原理制成的仪器被称为激光三角位移传感器。一般采用半导体激光器( LD)做光源,功率在SmW左右,光电检测器采月PSD或CCD。商品化的三角位移传感器比较常见的有日本Keyence公司斜射式的LD系列、直射式的LC系列和LB系列;Renishaw公司的OP2型;美国Medar公司的2101型等。表6-2列出了常用激光三角位移传感器的主要技术指标。
从图6 -35(b)中可以看出,斜射式BAS40 E6327入射光的光点照射在被测面的不同点上,无法知道被测面中某点的位移情况,而直射式却可以。因此,当被测面的法线无法确定或被测面面形复杂时,只能采用直射式结构。
在上述的三角法测量原理中,要计算被测面的位移量,需要知道距离o,而在实际应用中,一般很难知道口的具体值,或者知道其值,但准确度不高,影响系统的测试准确度。实际应用中可以采用另一种表述方式,如图6 - 36所示,有下列关系:z式中,6为激光器光轴与接收透镜光轴之间的距离镜焦距;髫’为接收光点到透镜光轴的距离。其中6和厂’均已知,只要测出省’的值就可以求出距离石。另外,高准确度地标定6和值,就可以保证一定的测试不确定度。
激光三角法测量技术的测量准确度受传感器自身因素和外部因素的影响。传感器自身影响因素主要包括光学系统的像差、光点大小和形状、检测器固有的位置检测不确定度和分辨力、检测器暗电流和外界杂散光的影响、检测器检测电路的测量
准确度和噪声、电路和光学系统的温度漂移等。测量准确度的外部影响因素主要有被测表面倾斜、被测表面光泽和粗糙度、被测表面颜色等。这几种外部因素一般无法定量计算,而且不同的传感器在实际使用时会表现出不同的性质,因此在使用之前必须通过实验对这些因素进行标定。
根据三角法原理制成的仪器被称为激光三角位移传感器。一般采用半导体激光器( LD)做光源,功率在SmW左右,光电检测器采月PSD或CCD。商品化的三角位移传感器比较常见的有日本Keyence公司斜射式的LD系列、直射式的LC系列和LB系列;Renishaw公司的OP2型;美国Medar公司的2101型等。表6-2列出了常用激光三角位移传感器的主要技术指标。
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