闭环控制系统框图如图4-3所示。精密工E13003作台由计算机控制，微处理机发出指令性信号A，通过动力部件、传动系统使工作台移动，并通过检测装置不断实时测出工作台的实际位移量，向微处理机不断输送反馈信号B并与指令性信号A进行比较，用A、B信号

的差值进行控制，使工作台达到理想的位置精度。用位置检测系统获得的信息与指令性信号进行比较，通过反馈来控制精密机械运动精度的系统称为闭环控制系统。

   图4-3闭环控制系统框图

   闭环控制系统的最大优点是定位精度高（可达到亚微米级甚至是纳微米级精度）；抗外界干扰和内部参数变化的能力强；同时易实现自动化。其缺点是系统比较复杂；调整、使用和维修比较困难；成本较高。尽管如此，由于精密机械和仪器精度要求越来越高，故闭环控制系统应用是非常广泛的。

   定位系统的种类很多，开环控制系统如螺旋传动、齿轮传动、标尺与度盘、感应同步器等；闭环控制系统如光电编码器、激光干涉仪等。

   由于定位与测量系统与光电仪器的精度有直接关系，因此定位与测量系统的设计是仪器设计中的重要一环，并应满足下列要求。