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计量光栅是利用光栅形成的莫尔条纹原理进行工作的

发布时间:2015/5/29 21:40:43 访问次数:3860

   计量光栅是利用光栅形成的莫尔条纹原理进行工作的。计量光栅的栅距较大,通常E28F016SA-D100-5V情况下栅距c=0. 004mm~0.05 mm。由于计量光栅具有形成莫尔条纹的特点,因此在精密测长和测角的光电仪器中不仅作为长度与角度的校准器,随光电技术的发展,目前计量光栅更多地作为光栅传感器应用于各种数控设备。它与电子细分技术相配合,得到很高的分辨率和测量精度。

   计量光栅按刻线表面的结构可分为幅值光栅和相位光栅。幅值光栅也称黑白光栅。表面刻线如图4 -4(a)所示,其特点是栅线与缝隙黑白相间,通常采用母光栅照相复制法加工而成。黑白光栅的栅距,一般为c=0. Olmm一0.05mm。相位光栅也称闪耀光栅,表面刻线如图4 -4(b)所示,其横截面呈锯齿状,通常用刻划方法直接加工而成。相位光栅的栅距较小,一般为c=0. 004mm一0.Olmm。

      

   按载体的形状计量光栅可分为长光栅和圆光栅。长光栅用于长度测量,栅线数通常在25线对/mm以上;圆光栅用于角度测量,棚距角沙一般不小于1’。

   黑白光栅与相位光栅都可采用玻璃载体刻制成透射光栅,或在具有强反射能力的金属带表面刻制成反射光栅。在圆光栅中一般只采用黑白透射光栅。目前,在光电仪器中对于正弦光栅,偏振光栅和全息光栅等应用也日益增多。计量光栅的主要类型,可归纳为图4 -5所示的方框图。

   计量光栅是利用光栅形成的莫尔条纹原理进行工作的。计量光栅的栅距较大,通常E28F016SA-D100-5V情况下栅距c=0. 004mm~0.05 mm。由于计量光栅具有形成莫尔条纹的特点,因此在精密测长和测角的光电仪器中不仅作为长度与角度的校准器,随光电技术的发展,目前计量光栅更多地作为光栅传感器应用于各种数控设备。它与电子细分技术相配合,得到很高的分辨率和测量精度。

   计量光栅按刻线表面的结构可分为幅值光栅和相位光栅。幅值光栅也称黑白光栅。表面刻线如图4 -4(a)所示,其特点是栅线与缝隙黑白相间,通常采用母光栅照相复制法加工而成。黑白光栅的栅距,一般为c=0. Olmm一0.05mm。相位光栅也称闪耀光栅,表面刻线如图4 -4(b)所示,其横截面呈锯齿状,通常用刻划方法直接加工而成。相位光栅的栅距较小,一般为c=0. 004mm一0.Olmm。

      

   按载体的形状计量光栅可分为长光栅和圆光栅。长光栅用于长度测量,栅线数通常在25线对/mm以上;圆光栅用于角度测量,棚距角沙一般不小于1’。

   黑白光栅与相位光栅都可采用玻璃载体刻制成透射光栅,或在具有强反射能力的金属带表面刻制成反射光栅。在圆光栅中一般只采用黑白透射光栅。目前,在光电仪器中对于正弦光栅,偏振光栅和全息光栅等应用也日益增多。计量光栅的主要类型,可归纳为图4 -5所示的方框图。

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