图2 -4是薄膜表面涂层检查仪的原理图，它是具EP1C3T144有名因素微小间隔测量的典型例子。被测试件4是表面有可塑性涂层的纸质材料或聚酯薄膜，它围绕滚筒6穿过机器。气体激光器1发射的激光束，经过柱面透镜2和3扩展，以宽度为L的入射光束照射狭缝6，它由薄膜4表面和相距为z的棱缘7组成。为了被测薄膜装穿的方便，彳距离是必要的。调节柱面透镜2和3之间距，使通过狭缝后的衍射波聚焦于预定距离￡处(￡》6)。其衍射条纹垂直于狭缝展开。

 光电检测器13由光电二极管组成，置于一给定的Xk位置，将衍射条纹的光强信号转变成电信号，并经放大器放大后，由电表10进行显示。光电二极管的位置Xk，一般选取第二级或第三级条纹极小值作为检测定位条纹。同时调节棱缘7改变缝宽，使定位条纹进入光电管。

   如果开始时将没有涂层的薄膜通过滚筒，并调整电表指零，那么当有涂层的薄膜通过滚筒时，使缝宽变小，条纹向前移动，亮条纹进入检测器，电表显示相应于涂层厚度的条纹移动量。

   利用测微计8，可准确移动棱缘7，模拟涂层引起6的变动量，校准指示电表10的刻度值。因此，仪器在工作过程中，只根据电表的偏摆即可准确测定涂层厚度及其变化情况。在实践中，能稳定分辨0.3 l.t,m的厚度变化。

   干涉滤光片14用来消除周围杂散光的影响。容性滤波网络12使滚筒振动，滚筒几何形状偏差以及其他微小振动等引起的波动取平均效应。这些波动的频率通常都超过3Hz，因此很容易滤掉。