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双频激光精密测角

发布时间:2015/5/14 22:15:41 访问次数:716

    双频激光精密测角系统是以双频激光测长为基础,只需从长度量转换到角度量,就可用ICE2HS01G精密测量小角度和平板的平面度。

   如图9 -10所示,双频激光被偏振分光镜组(或称双模块组)1分成两束正交线偏振光fi和f2,分别射向安装在运动部件3上的双角锥棱镜2,返回到下偏振分光镜汇合后,经光检测器变为电信号,送入计算机处理并显示测量结果。

      

  双角锥棱镜随运动部件仅作平移时,两束光发生的多普勒频差Alfi=Af2,在减法运算器中抵消,计算机没有角度值显示。如果运动部件既有移动又有摆动,双角锥棱镜组在移动过程中发生p角的倾斜,则两角锥棱镜的顶点在图中水平方向上有一相对位移量

   A=Rsin0    (9-11)

   式中,尺是两个角锥棱镜顶点的间距。此时,两束光的多普勒频差龋≠Af2,由此可测出长度量△,并在计算机中根据上式直接求出与显示p值。


    双频激光精密测角系统是以双频激光测长为基础,只需从长度量转换到角度量,就可用ICE2HS01G精密测量小角度和平板的平面度。

   如图9 -10所示,双频激光被偏振分光镜组(或称双模块组)1分成两束正交线偏振光fi和f2,分别射向安装在运动部件3上的双角锥棱镜2,返回到下偏振分光镜汇合后,经光检测器变为电信号,送入计算机处理并显示测量结果。

      

  双角锥棱镜随运动部件仅作平移时,两束光发生的多普勒频差Alfi=Af2,在减法运算器中抵消,计算机没有角度值显示。如果运动部件既有移动又有摆动,双角锥棱镜组在移动过程中发生p角的倾斜,则两角锥棱镜的顶点在图中水平方向上有一相对位移量

   A=Rsin0    (9-11)

   式中,尺是两个角锥棱镜顶点的间距。此时,两束光的多普勒频差龋≠Af2,由此可测出长度量△,并在计算机中根据上式直接求出与显示p值。


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