莫尔条纹测长原理
发布时间:2015/5/10 21:14:16 访问次数:3700
从莫尔条纹分析中已经看到,AT24C02D-SSHM-T若两条光栅互相重叠成一夹角,就形成了莫尔条纹。当长光栅固定,指示光栅相对移动一个节距,莫尔条纹就变化一个周期。一般情况下指示光栅与工作台固定在一起。工作台前后移动的距离由指示光栅和长光栅形成的莫尔条纹进行计数得到。工作台移动进行长度测量时,指示光栅移动的距离为戈:
P是光栅节距;Ⅳ是指示光栅移动距离中包含的光栅线对数;艿是小于1个光栅节距的小数部分。
在莫尔条纹测长仪中,最简单的形式是对指示光栅移过的光栅线对数Ⅳ进行直接计数。但实际系统并不单纯计数,而是利用电子细分方法将莫尔条纹的一个周期细分,于是可读出小数部分,使系统的分辨能力提高。目前电子细分可分到几十到分之一。如果单纯从光栅方面去提高分辨率,光栅节距再做小几十倍,工艺上是难以达到的。
从莫尔条纹分析中已经看到,AT24C02D-SSHM-T若两条光栅互相重叠成一夹角,就形成了莫尔条纹。当长光栅固定,指示光栅相对移动一个节距,莫尔条纹就变化一个周期。一般情况下指示光栅与工作台固定在一起。工作台前后移动的距离由指示光栅和长光栅形成的莫尔条纹进行计数得到。工作台移动进行长度测量时,指示光栅移动的距离为戈:
P是光栅节距;Ⅳ是指示光栅移动距离中包含的光栅线对数;艿是小于1个光栅节距的小数部分。
在莫尔条纹测长仪中,最简单的形式是对指示光栅移过的光栅线对数Ⅳ进行直接计数。但实际系统并不单纯计数,而是利用电子细分方法将莫尔条纹的一个周期细分,于是可读出小数部分,使系统的分辨能力提高。目前电子细分可分到几十到分之一。如果单纯从光栅方面去提高分辨率,光栅节距再做小几十倍,工艺上是难以达到的。