(1)缝宽越小，衍射效IR2166S应越显著，光学放大比越大；

   (2)缝宽变小，衍射条纹拉开，光强分希各级次的绝对强度减弱，高级次条纹不能测量；

   (3)缝宽变大，条纹密集，测量灵敏度降低，当6≥0. 5mm时，衍射测量就失去意义。

   衍射测量的最大量程是0. 5mm，绝对测量的量程是0.01~0.Smm。因此，衍射测量主要用于小量程的高精度测量。

   激光衍射测量主要依据单缝衍射和圆孔衍射的原理，通过测量单缝衍射暗条纹之间的距离或艾里斑第一暗环的直径来确定被测量。根据不同的被测对象，测量方法主要有以下几种。

   1．间隙测量法

   间隙测量法是基于单缝衍射原理，是衍射测量基本方法，主要用于以下几个方面：

   (1)尺寸的比较测量。如图7-21(a)所示，先用标准尺寸的工件相对参考边的间隙作为零位，然后放上工件，测量间隙的变化量而推算出工件尺寸。

   (2)工件形状的轮廓测量。如图7-21(b)所示，同时转动参考物和工件，由间隙变化得到工件轮廓相对于标准轮廓的偏差。