薄膜型Zn0气敏元件  图7-14为氧化锌薄膜酒敏元件的结构。在Al2 03基片上先作叉指金电极，并在背面制作阻值约为20Q的能耐受高温的薄膜电阻作为加热器。使用。K2022-01MR磁控溅射法，在Ar+02混合气体中使用高纯的锌板(99.99%)为靶材，在氧化铝基片上反应溅射Zn0薄膜，同时在Zn0薄膜表面掺杂不同的稀土元素，以提高灵敏度和选择性，可以获得对乙醇特别敏感，对甲烷、一氧化碳及汽油等灵敏度较高的酒敏感元件。制成薄膜后在500～600℃下空气中热处理约2h可以减少薄膜中活性较大的缺陷和内应力，还可以使Zn()薄膜的晶粒长大，晶粒间隔减少。这样虽然会导致元件的灵敏度略有下降，但其稳定性会明显改善。此工艺制备的氧化锌薄膜的尺寸为600nm左右，对乙醇的灵敏度比对汽油的灵敏

度高出近一倍，再配合适当的辅助电路，就可以避免汽油对检测酒精的干扰。Zn0酒精敏感元件的主要参数如下：工作电压1～6V，响应时间小于lOs，工作温度320℃，在乙醇蒸气浓度为75×10 -6时测定灵敏度R。/Rg>6.

   多层式Zn0气敏元件  多层式Zn0气敏元件的结构是，先在绝缘基片上涂或沉积Zn()薄膜，再给Zn0层上涂一层作为催化剂层，一般用适量的黏合剂与经铂、铑等贵金属盐浸渍的Al2 03微粉构成多孔覆盖层，以促进对气体的吸附，提高气敏性。图7-15所示给

出多层气敏元件结构类似的铂铱复合Zn0气敏元件结构图。该元件是以铂铱合金为基片，采用印刷制膜法在它的正面制作Ruoz电极(图中的A和B)和敏感材料Zn0，在背面印刷制作Ru02电极(图中的C)，在乙醇气氛中测量电极A与B之间的电阻变化，同时还可以

利用A(或B)与电极C来测定元件与温度的关系，铂铱片能促进对乙醇的氧化作用，因此这种复合型电极传感器对乙醇的灵敏度较高。