此外，在制造电容传感器时，一般要选用温度膨胀系数小、几何尺寸稳定的材料。例如， AD7524JR电极的支架选用陶瓷材料要比塑料或有机玻璃好；电极材料以选用铁镍合金为好；近年来用在陶瓷或石英上喷镀一层金属薄膜来代替电极，效果更好。

   减小温度误差的另一常用措施是采用差动对称结构，在测量电路中加以补偿。

    理想条件下，平行板电容器的电场均匀分布于两极板相互覆盖的空间，但实际上，在极板的边缘附近，电场分布是不均匀的，从而使电容的实际计算公式变得相当复杂。这种电场的边缘效应相当于传感器并联了一个附加电容，其结果使传感器的灵敏度下降和非线性增加。

   为了尽量减少边缘效应，首先应增大电容器的初始电容量，即增大极板面积和减小极板间距。此外，加装等位环是一个有效方法。以圆形平板电容器为例，如图2-97所示在极板A的同一平面内加一个同心环面G。A和G在电气上相互绝缘，二者之间的间隙越小越好。使用时必须始终保持A和G等电位，故称G为等位环，这样就可使A、B间的电场接近理想的均匀分布了。

   加装等位环的电容器有三个端子A、B、G。应该说明的是，它虽然有效地抑制了边缘效应，但也增加了加工工艺难度。另外，为了保持A与G的等电位，一般尽量使二者同为等电位。但有时难以实现，这时就必须加入适当的电子线路。