薄膜热电偶  薄膜热电偶是由两种薄膜热电极材料，用真空蒸镀、AO4407化学涂层等办法蒸镀到绝缘基板上而制成的一种特殊热电偶。薄膜热电偶的热接点可以做得很小（可薄到0.01~0.lym）。这种热电偶具有热容量小、反应速度快等特点，其热响应时间达到微秒级，适用于微小面积上的表面温度及快速变化的动态温度测量。

   热电偶温度补偿方法

   热电偶的热电势的大小不仅与热端温度有关，也与冷端温度有关。只有当冷端温度恒定时，才可通过测量热电势的大小得到热端温度。热电偶电路中最大的问题是冷端的问题，即如何选择测温的参考点。经常采用的冷端方式有如下3种。

   1)冰水保温瓶方式（冰点器方式）  将热电偶的冷端置于冰水保温瓶中，获得热电偶冷端的参考温度。

   2)恒温槽方式  即将冷端置于恒温槽中，如恒定温度为To，则冷端的误差△为

   △=El(T,To) -E1(r,0)=-Ei(To,0)    (7-11)

    式中，丁为被测温度。由式（7-11）可见，虽然△≠0，但△是一个定值。只要在回路中加入相应的修正电匝，或者调整指示装置的初始位置，即可达到完全补偿的目的。常用的恒温温度有50CC和0℃等。

   3)冷端自动补偿方式（补偿电桥法）  补偿电桥法利用不平衡电桥产生的不平衡电压作为补偿信号，来自动补偿热电偶测量过程中因参考端温度不为0℃或变化而引起热电势的变化值。

   如图7-10所示，不平衡电桥是由3个电阻温度系数较小的锰铜丝绕制的电阻R，、R：、R3，电阻温度系数较大的铜丝绕制的电阻Rc。和稳压电源组成的。补偿电桥与热电偶参考端处在同一环境温度，但由于Rc。的电阻值随环境温度变化而变化，如果适当选择桥臂电阻和桥路电流，就可以使电桥产生的不平衡电压Uab补偿由于参考端温度变化引起的热电势EAB（T1，To）的变化量，从而达到自动补偿的目的。