静电放电对电子工业的危害
发布时间:2012/10/15 20:14:36 访问次数:906
在电子工业中,摩擦起电和人体带电OV7720常有发生,电子产品在生产、包装运输及装联成整机的加工、调试、检测,难免受到外界或自身的接触摩擦而形成很高的表面电位。如果操作者不采取静电防护措施,入体静电电位可高达1.5~3kV。因此无论是摩擦起电还是人体静电均会对静电敏感电子器件造成损坏。根据静电的力学和放电效应,其静电损坏大体上分为两类,这就是由静电引起的浮尘埃的吸附以及由静电放电引起的敏感元器件的击穿。
静电吸附
在半导体和半导体器件制造过程广泛采用Si02及高分子物质的材料,由于它们的高绝缘性,在生产过程中易积聚很高的静电,并易吸附空气中的带电微粒导致半导体介面击穿、失效。表17.1是日本冈田孝夫等人对半导体制造工序中物体所带静电的实测结果。表17.1半导体制造工序中的静电带电
从表17.1可见,生产中各物体所带静电位是非常高的。由于静电的力学效应会使车间的浮游尘埃被吸附于半导体芯片上,灰尘也可能附着、积存于芯片以外的物体上,即使极少量的、线度很小的灰尘粒子附着在芯片上也会严重影响半导体成品的质量和成品率。
为了防止静电危害,半导体和半导体器件的制造必须在洁净室内进行。如安装除尘效率极高的过滤器,同时洁净室的墙壁、天花板、地板等均应采用防静电的不起尘材料和操作人员及一切工具、器具均应采取防静电措施。
静电对印制板组件和元器件的静电吸附表现为吸附灰尘、杂物和潮气,改变线路之间的阻抗,影响绝缘性、安全性、直接影响组件的功能和寿命。
在电子工业中,摩擦起电和人体带电OV7720常有发生,电子产品在生产、包装运输及装联成整机的加工、调试、检测,难免受到外界或自身的接触摩擦而形成很高的表面电位。如果操作者不采取静电防护措施,入体静电电位可高达1.5~3kV。因此无论是摩擦起电还是人体静电均会对静电敏感电子器件造成损坏。根据静电的力学和放电效应,其静电损坏大体上分为两类,这就是由静电引起的浮尘埃的吸附以及由静电放电引起的敏感元器件的击穿。
静电吸附
在半导体和半导体器件制造过程广泛采用Si02及高分子物质的材料,由于它们的高绝缘性,在生产过程中易积聚很高的静电,并易吸附空气中的带电微粒导致半导体介面击穿、失效。表17.1是日本冈田孝夫等人对半导体制造工序中物体所带静电的实测结果。表17.1半导体制造工序中的静电带电
从表17.1可见,生产中各物体所带静电位是非常高的。由于静电的力学效应会使车间的浮游尘埃被吸附于半导体芯片上,灰尘也可能附着、积存于芯片以外的物体上,即使极少量的、线度很小的灰尘粒子附着在芯片上也会严重影响半导体成品的质量和成品率。
为了防止静电危害,半导体和半导体器件的制造必须在洁净室内进行。如安装除尘效率极高的过滤器,同时洁净室的墙壁、天花板、地板等均应采用防静电的不起尘材料和操作人员及一切工具、器具均应采取防静电措施。
静电对印制板组件和元器件的静电吸附表现为吸附灰尘、杂物和潮气,改变线路之间的阻抗,影响绝缘性、安全性、直接影响组件的功能和寿命。
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