(1)攻关工艺试验的主要方法
    提高器件表面钝化效果从工艺SPW52N50C3的角度考虑有以下几种方法：
    ①通过调节玻璃钝化时的热成型条件可以控制玻璃微晶化的程度从而控制器件高温反向漏电流。
    ②通过玻璃钝化前台面的严格化学清洗可以控制表面钝化后玻璃一硅介面态
的密度。
    ③通逋玻璃钝化工艺技术中钝化玻璃原材料添加剂的使用可以有效改善钝化效果，降低钝化后器件的高温反向电流。
    在以上各种措施中，试验表明通过钝化玻璃原材料添加剂的使用可以收到较好的效果。
    (2)工艺试验结果
    表4. 32和表4.33是使用钝化玻璃添加剂和未使用钝化玻璃添加剂的对比试验数据。从表4. 32和表4.33的对比试验结果中已明显看出，在器件的玻璃钝化工艺技术中采用添加剂的方法能有效地改善玻璃钝化的效果，使器件高温反向特性有了较显著的改善，即明显降低了器件的高温反向漏电流，控制了反向漏电流特性失效这一主要失效模式。

    改进效果验证
    为验证经过工艺改进后所取得的效果，又迸行了实验验证。其方法是：在器件样品的失效率摸底试验中控制初测样管的高温反向漏电流在300V、90℃下，使J，≤75nA。样管286只，经85℃、lOOOh加电及25℃、3270h加电后无一失效，达到了该硅微波PIN二极管产品的可靠性水平由原来的五级提高到六级的增长要求。
    众所周知，半导体器件特别是耐压的功率器件，高温反向漏电流的大小是表征器件质量及可靠性的重要特征参数。该工艺技术改进的显著特点是方法简便、成本消耗低且效果显著，对其他玻璃钝化器件具有同样的推广应用价值。