合金膜
发布时间:2012/4/27 19:31:14 访问次数:529
采用Al-Cu(4%)合金膜,175℃,J=4×l06 A.cni-2时,其MTF是UC3845纯铝70倍。原理是因为Cu超过固溶度时,Cu原子以CuCl:形成在晶界处沉积,或占据晶界空位,阻塞了Al离子沿晶界迁徙,从而提高了MTF。
Al-Cu-Si(含Cu 2%,Si l%)合金膜不仅具有Al~Cu,Al-Si合金膜各自的优点,而且由于两种溶质原子(Cu与Si)的相互作用,在晶界处形成稳定合作物,相抑制在晶界间迁徙,因此它具有更高的抗电迁移能力。表4.6介绍了金属化条MTF与温度的关系,从表4.6可看出,Al-Cu-Si的抗电迁移能力最佳。表4.6金属亿条MTF与温度的关系。
采用Al-Cu(4%)合金膜,175℃,J=4×l06 A.cni-2时,其MTF是UC3845纯铝70倍。原理是因为Cu超过固溶度时,Cu原子以CuCl:形成在晶界处沉积,或占据晶界空位,阻塞了Al离子沿晶界迁徙,从而提高了MTF。
Al-Cu-Si(含Cu 2%,Si l%)合金膜不仅具有Al~Cu,Al-Si合金膜各自的优点,而且由于两种溶质原子(Cu与Si)的相互作用,在晶界处形成稳定合作物,相抑制在晶界间迁徙,因此它具有更高的抗电迁移能力。表4.6介绍了金属化条MTF与温度的关系,从表4.6可看出,Al-Cu-Si的抗电迁移能力最佳。表4.6金属亿条MTF与温度的关系。
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