P2 05、Si02混合体、五价磷代替PL2305H四价硅原子位置，多余一个电子（艿一），它可俘获一个Na+离子，故PSG把Na+离子固定在S102之中，使之不可移动。PSG吸收Na+使其含Na+浓度比Si02中Na+大103倍，Na+要通过等厚的PSG时间比Si02长8倍，可见PSG有阻挡Na+进入Si02的屏蔽作用。实验表明：3DA308高频功率管，使用PSG钝化之后，原先^FE（小电流）随￡下降，击穿电压蠕变现象消除（见表4.2）。

            
    PSG中含有微小导电晶粒，在电场作用下，晶粒和玻璃之间的界面极化会削弱外电场，使器件特性变化。此外，PSG吸水性强，水介后生成偏磷酸，会腐蚀Al条。
    克服极化效应的措施主要有：
    ①控制PSG与S102的厚度比为1:5。
    ②控制PSG中磷含量为l02 cm-3，钝化效果最佳。
    ③由硅烷、磷烷和氧气合成，在400℃进行CVD、PSG中磷的重量比为2%时，钝化效果最好。
    无钠S102的制备
    ①硅片脱脂处理。
    ②腐蚀硅片表面机械损伤层。
    ③氧化层：双壁高纯石英管，由液氧供氧气，氧气中水含量< lppm、氧化1000℃、干氧气氛、S102：500A(Qm一3×loio cm-3)。
    ④Al蒸发：真空1×10_7托，电子束铝源纯度5个O以上。
    ⑤封帽：控制湿度、干氧气氛，也可用Pt、T102、2n2 03等把石英管包起来。