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半导体硅片DHF清洗技术

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:792

a. dhf洗时,可将由于用sc-1洗时表面生成的自然氧化膜腐蚀掉,而si几乎不被腐蚀。
b.
硅片最外层的si几乎是以 h 键为终端结构,表面呈疏水性。
c.

a. dhf洗时,可将由于用sc-1洗时表面生成的自然氧化膜腐蚀掉,而si几乎不被腐蚀。
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硅片最外层的si几乎是以 h 键为终端结构,表面呈疏水性。
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