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光刻工艺及其工艺要求

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:337

课程内容：

1 光刻前的准备工作

1.1 准备要求

1.2 准备方法

1.2.1 光刻前待光刻片子置于干燥塔中

1.2.2 氧化片出炉后可立即送光刻工序涂胶

课程内容：

1 光刻前的准备工作

1.1 准备要求

1.2 准备方法

1.2.1 光刻前待光刻片子置于干燥塔中

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