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离子注入原理及分析

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:331

课程内容：

1 离子注入及其原理

1.1 离子注入掺杂

1.2 离子注入设备及工作原理

1.2.1 离子源

1.2.2 初聚系统

1.2.3 磁分析器

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