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光刻缺陷及影响

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:308

课程内容：

1 光刻工艺的质量要求

1.1 图形完整、尺寸准确、边缘整齐、陡直

1.2 图形内无针孔

1.3 图形外无小岛

1.4 套合精确、无污染

2 光刻缺陷的影响及形成原因

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1.1 图形完整、尺寸准确、边缘整齐、陡直

1.2 图形内无针孔

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