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扩散引起的外延层-衬底界面的杂质再分布

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:421

课程内容：

1 外延层-衬底界面的杂质再分布

1.1 界面的杂质再分布的条件

1.1.1 界面两侧存在杂质的浓度梯度

1.1.2 存在高温处理环境

1.2 界面杂质再分布的结果

1.2.1

课程内容：

1 外延层-衬底界面的杂质再分布

1.1 界面的杂质再分布的条件

1.1.1 界面两侧存在杂质的浓度梯度

1.1.2 存在高温处理环境

1.2 界面杂质再分布的结果

1.2.1

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