光罩缺陷从而改善光罩的质量控制并获得更好的产品图案成像
发布时间:2023/12/19 23:44:08 访问次数:89
Si875x器件通过使用标称10.3V、极低1mA输入电流和1.1ms响应时间来驱动FET门。
Teron 640是建立在光罩业界领先的Teron光罩检测平台之上,通过采用193纳米光源和双成像模式(结合了高分辨率检测和基于缺陷成像性识别的空中成像),Teron 640支持先进的光学光罩检测。
SCR全系产品为汽车和工业设备的功率控制带来最先进的产品和封装技术,额定输出电流范围从12A到80A,可用于研制尺寸超紧凑的高可靠性的汽车或摩托车稳压器、感应式电机启动器、软启动器、工业热风机或电饭锅的控制器、固态继电器(SSR)、不间断电源(UPS)和调功器。
利用创新的双重成像技术,Teron 640检测系统为光罩厂提供了必要的灵敏度,对先进的光罩进行准确的品质检验。
Teron SL655检测系统采用全新的STARlightGold™技术,帮助集成电路制造商评估新光罩的质量,监测光罩退化,并检测对成品率至关重要的光罩缺陷。
通过将Teron 640和Teron SL655生成的大量数据与RDC的评估功能紧密结合,光罩厂和集成电路晶圆厂能够更高效地辨识光刻中显著的光罩缺陷,从而改善光罩的质量控制,并获得更好的产品图案成像。

增加输入电流到10mA可实现极快的94μs接通时间。独特的电源优化选项能够快速获得最大导通电流,然后一旦可选的外部电容放电时,静态保持电流最多可降低到最大导通电流的90%。
Si875x器件具有2.5kVrms隔离等级,能够在整个工业和汽车级温度范围(高达+125℃)进行操作,设计符合严格的UL、CSA、VDE、 CQC标准。
凭借独一无二的将功能强大、可靠的基于CMOS的隔离技术和通过隔离栅传输电源整合的创新能力,Silicon Labs的Si875x驱动器为陈旧的EMR和基于光耦的SSR提供了不可或缺的替代解决方案。
Si875x器件通过使用标称10.3V、极低1mA输入电流和1.1ms响应时间来驱动FET门。
Teron 640是建立在光罩业界领先的Teron光罩检测平台之上,通过采用193纳米光源和双成像模式(结合了高分辨率检测和基于缺陷成像性识别的空中成像),Teron 640支持先进的光学光罩检测。
SCR全系产品为汽车和工业设备的功率控制带来最先进的产品和封装技术,额定输出电流范围从12A到80A,可用于研制尺寸超紧凑的高可靠性的汽车或摩托车稳压器、感应式电机启动器、软启动器、工业热风机或电饭锅的控制器、固态继电器(SSR)、不间断电源(UPS)和调功器。
利用创新的双重成像技术,Teron 640检测系统为光罩厂提供了必要的灵敏度,对先进的光罩进行准确的品质检验。
Teron SL655检测系统采用全新的STARlightGold™技术,帮助集成电路制造商评估新光罩的质量,监测光罩退化,并检测对成品率至关重要的光罩缺陷。
通过将Teron 640和Teron SL655生成的大量数据与RDC的评估功能紧密结合,光罩厂和集成电路晶圆厂能够更高效地辨识光刻中显著的光罩缺陷,从而改善光罩的质量控制,并获得更好的产品图案成像。

增加输入电流到10mA可实现极快的94μs接通时间。独特的电源优化选项能够快速获得最大导通电流,然后一旦可选的外部电容放电时,静态保持电流最多可降低到最大导通电流的90%。
Si875x器件具有2.5kVrms隔离等级,能够在整个工业和汽车级温度范围(高达+125℃)进行操作,设计符合严格的UL、CSA、VDE、 CQC标准。
凭借独一无二的将功能强大、可靠的基于CMOS的隔离技术和通过隔离栅传输电源整合的创新能力,Silicon Labs的Si875x驱动器为陈旧的EMR和基于光耦的SSR提供了不可或缺的替代解决方案。