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蒸发温度并不高所以长期以来铝膜都是使用电阻加热方法淀积的

发布时间:2023/10/6 15:42:02 访问次数:73

“电”是一种环保可再生的新能源,给我们的生活带来诸多便利,被广泛应用于各种工业生产、家庭家居等4不断推动我们的生活质量得到提高和改善。

但是,我们在看到电能带来好处的同时,也不得不承认,“电”危险的另一面。因为对电源利用和电能转化装置的不合理利用,以及电路设计不合理,长时间缺乏维修或工作人员对电子元件的操作不当等原因,每年造成的财务损失和人身伤亡事故屡屡发生。

电流是如何伤害入体的从伤害形式方面来看,电流对人体的主要伤害形式可分为电击和电伤两个类型。


常压下,铝熔点为660.4℃,沸点为2467℃,在1250℃时的平衡蒸气压为1,333Pa,所以1250℃是工程上规定的蒸发温度,这一温度并不高,所以长期以来铝膜都是使用电阻加热方法淀积的。

铝源在蒸发过程中是先熔化,再汽化挥发。熔融铝能浸润钨丝,因此可以采用钨丝作为镀铝的电阻加热器。常用的钨丝加热器的形状和铝丝源的摆放方式。

电阻真空镀铝工艺方法简单,容易操作,但是镀膜纯净度不高,衬底附着性和台阶覆盖特性也较差,目前只是在对铝膜质量要求不高的场合使用。

溅射工艺和蒸镀工艺一样,也多在制备微电子器件内电极或集成电路互连系统的金属、合金及硅化物薄膜时使用。因此,要求溅射工艺制备的薄膜保形覆盖特性、附着性、致密性要好。对于金属薄膜最好能够控制其多晶态晶粒结构;又寸于合金或硅化物薄膜最好能够准确控制其组成成分。

因此,即使是在常温衬底上溅射的薄膜也有较好的台阶覆盖特性。

溅射薄膜附着性好于蒸镀薄膜。由于溅射原子能量远高于蒸发原子能量,淀积成膜过程中.通过能量转换产生的热能较高,从而增强了溅射原子与衬底的附着力。

深圳市慈安科技有限公司http://cakj.51dzw.com


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但是,我们在看到电能带来好处的同时,也不得不承认,“电”危险的另一面。因为对电源利用和电能转化装置的不合理利用,以及电路设计不合理,长时间缺乏维修或工作人员对电子元件的操作不当等原因,每年造成的财务损失和人身伤亡事故屡屡发生。

电流是如何伤害入体的从伤害形式方面来看,电流对人体的主要伤害形式可分为电击和电伤两个类型。


常压下,铝熔点为660.4℃,沸点为2467℃,在1250℃时的平衡蒸气压为1,333Pa,所以1250℃是工程上规定的蒸发温度,这一温度并不高,所以长期以来铝膜都是使用电阻加热方法淀积的。

铝源在蒸发过程中是先熔化,再汽化挥发。熔融铝能浸润钨丝,因此可以采用钨丝作为镀铝的电阻加热器。常用的钨丝加热器的形状和铝丝源的摆放方式。

电阻真空镀铝工艺方法简单,容易操作,但是镀膜纯净度不高,衬底附着性和台阶覆盖特性也较差,目前只是在对铝膜质量要求不高的场合使用。

溅射工艺和蒸镀工艺一样,也多在制备微电子器件内电极或集成电路互连系统的金属、合金及硅化物薄膜时使用。因此,要求溅射工艺制备的薄膜保形覆盖特性、附着性、致密性要好。对于金属薄膜最好能够控制其多晶态晶粒结构;又寸于合金或硅化物薄膜最好能够准确控制其组成成分。

因此,即使是在常温衬底上溅射的薄膜也有较好的台阶覆盖特性。

溅射薄膜附着性好于蒸镀薄膜。由于溅射原子能量远高于蒸发原子能量,淀积成膜过程中.通过能量转换产生的热能较高,从而增强了溅射原子与衬底的附着力。

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