关注地球环保的京都议定书生效，半导体产业如何因应？新竹科学园区同业公会环境保护委员会召集人范光荣表示，其实早在1999年，台湾半导体产业协会即依世界半导体协会（WSC）规定，签署全氟碳化物排放减量协议书，协议书中承诺各厂商在2010年全氟化物排放量要控制在1998年时的排放量，不得成长。

　　据了解，为因应京都议定书，半导体产业早在2000年时即开始进行改善方案，包括设备更新及找寻替代化学品；范光荣表示，现行半导体厂改善的方法大概可分为二种，一是朝减少污染排放量着手，包括管路末端污染设施改善、空气污染防制设备更新、以及将既有处理方式由过滤回收改为燃烧式，以有效降低污染排放量。另一方法则是找替代性气体，将过去污染较严重的六氟乙烷，改以全氟丙烷)等污染量较小的气体取代。

　　范光荣表示，台湾拥有6吋到12吋新旧不等的晶圆厂，减量排放污染对厂商而言的确是一挑战，因旧厂在减量污染配套措施上比较麻烦，汰换既有管线进行新式防治污染设备改善工程就较费工，估算一座8吋厂投资改善约要花新台币3000到4000万元。

　　但范光荣强调，台湾半导体厂商早已自发性配合污染防制，进行各种改善工程，因此京都议订书并不会对台湾半导体产业造成立即性的冲击。

　 （文章来源：集成电路产业网新闻管理部）