手工抛光。手工抛光P0403BD是另一种可以采用的替代方法。手工抛光是手持样品环在涂有相应力度的α氧化铝抛光膏加水,在短绒抛光布上进行的短时间抛光。与振动抛光相比,样品更容易受到诸如“拉拔作用”或出现表面起伏之类的细部变形,因此,手工抛光的时间应尽量短,以避免产生过度的表面起伏和细部变形(实际上这两种情况有些不I可避免)。手工抛光分为如下粗抛光和细抛光两个步骤。

    粗抛光。粗抛光是在短绒布上用1,0um或0,3um的α氧化铝抛光膏加水进行的抛光,抛光盘的转速为150~⒛0〃min,压力不超过lPa,持续1~2min。这个步骤的最后30s,施加的压力要吏小一些。当用比600号更细的研磨料(如l⒛0号)或用与之等效的抛光膜抛光时,能缩短抛光的时问。

    细抛光。细抛光是在短绒布上用0.3um或0,05um的α氧化铝抛光膏加水进行的抛光,抛光盘的转速为80~125〃min,压力不超过10kPa,持续0.5~1min。这个步骤施加的压力要更小一些。

   在粗抛光和细抛光之间,以及细抛光之后,样品环应该用中性洗涤剂溶液清洗并彻底漂洗。