内部气体成分分析技术的发展趋势

   目前国内比较多使用的试验设备为IVA210s,该设备不但可以判定密封器件内部水汽含量是否超过5OO0ppm,而且还可以给出密封器件内部各种气体的含量及其分布平面图、三维图等。其报告可以是定性结论,也可以是定量结果、谱线报告和三维分布图等。虽然设备能力上可以在测试密封器件内的水汽含量的同时还测试密封器件内部所有气体的组成情况,但是缺少相应的标准判据。

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    现代微纳米技术飞速发展,新型密封元器件的小型化及其密封材料的研究开发,迫切需求高分辨内部气氛分析仪。另一方面,封装工艺的改善及新型封装材料的研发在依赖于内部气氛分析仪的同时,也对其提出了更高的指标要求。此外,部分微型元器件内部腔体体积达到0.01cc甚至以下,气体组分浓度低至ppm级,如何提取如此小腔体内的有限量气体,研发精度更高的进样方法和质谱分析技术,进一步提高气体分析时的利用率和电离率,从而提高检测精度等。