CMOs图像传感器技术在过去的十年间取得了巨大的进展。成像器件不仅在性能上得到了极大的提升,而且随着配备内置相机的手机的广泛应用而获得了显著的商业成功。早在15年前,许多科学家和市场专家就预测CMOS图像传感器将完全取代CCD成像器,就像⒛世纪BO年代中期CCD成像器替代了电子管一样。但是,尽管CMOS在当今的成像领域占据重要的位置,但它并没有完全取代CCD。另一方面,由于CMOS图像传感器催生了新的应用领域,并推进了CCD

成像器件的性能,CMOS的发展极大地推动了整体成像市场的长。

   介绍了CMOs图像传感器目前最新的研究进展情况。

LL4153

   CMOs尺寸效应对图像传感器的影响

   众所周知,CMOs节点尺寸的缩小使得半导体产业能够制造更小的器件。该规则也适用于CMOS图像传感器。图7.1给出了IEDM和⒙SCC过去15年里发布的关于CMOs图像传感器的尺寸数据:2]。下方的曲线说明了CMOS节点尺寸的缩小效果,ITRs路线图也给出了类似的描述:3]。第二个曲线显示了用于制作CMOs图像传感器的技术节点,第三曲线说明了同样器件的像素尺寸。