Petri网模型可以描述一个离散事件系统的逻辑关系和动态行为,但集束型装备的运行控制与 K9F5608UOB-PCBO调度是现场工程技术人员负责的工作,Pc廿i网模型的资源和活动表述相对而言较为抽象,故针对集束型装各调度可行性,需要为工程技术人员提供易于理解、可视的图形化仿真平台。基于Pctri网模型和1晶圆周期调度,要实现集束型装备的仿真,不仅要将Petri网模型的各个事件在仿真模型中描述出来,而且要将初始暂态平稳地过渡到稳定状态。本节介绍本章参考文献[61]的仿真建模方法,即利用Plant Simul舶cln对具有重入加工的双臂集束型装各终止暂态进行建模和仿真。

   模型框架

   为实现系统仿真,以具有代表性的晶圆重入流程模式(1,(1,1)2)为例,即工序1由PM1加工,工序2(4)和工序3(5)分别由PM2、PM3加工,PM2和PM3为重入加工模块,重入次数佬=2。通过将仿真系统的构件与Pe“网模型中的资源和活动相对应,建立双臂集束型装备系统的仿真模型,具体过程如下。

   设置对象及定义

   在仿真系统的框架中,利用物流对象singleProc模拟加工模块PM1~PM3和机械手(rob0tl趁),用单元入口sourGe和出口Drain分别模拟真空锁(输入输出装载室)LLA和LLB,晶圆用移动对象Entity表示。系统仿真模型中晶圆的加工流程和机械手搬运作业是通过运行Method中的相应程序来控制。Plant simulation的详细构件的应用如表⒉3所示。