针对集束型装备运行中存在的同步、异步、 K6R4008V1C-JC15并发、互斥事件,许多研究者采用Pcto网对其加工过程进行建模,分析其性能。Srinivasan最早应用基本Pctri网建立晶圆加工流程模型,并利用状态周期分析法分析系统,计算出系统处于稳态的时间及在此期间加工的晶圆数量,最后根据晶圆加工周期的公式计算出系统的吞吐量P1]。

   针对集束型装备加工过程具有持续时间特性,Zubcrek构造集束型装备加工过程的时间Pctri网模型,采用时间Pc“i网中时间变迁来表现装备加工活动的持续时间特性,并给出系统暂态模型和稳态模型,用P-不变量法分析稳态时期的系统性能″~2q。本章参考文献[22,23]对集束型装备的加工流程进行建模,采用的R不变量方法分析模型,对单臂机械手和双臂机械手装备的性能做比较,还分析多晶圆承载室、冗余腔体和多机械手等参数对系统性能的影响。如图⒉7所示是包含3个加工步骤的单臂集束型装各稳态过程的模型。