通常系统处于稳态阶段的时间最长,且稳态阶段系统操作具有周期性特点,所以稳态阶段特点也最能反映系统的特性。稳态阶段机械手操作过程包括如下。R10706NB

   (1)从晶圆承载室中卸载一片未加工晶圆,传送到加工腔体PCl处,加载到PC1中,PC1开始加工晶圆,所需时间为石。

   (2)移动到加工腔体PC2处,卸载PC2中的加工完成晶圆,传送到晶圆承载室处,加载,所需时间为马。

   (3)移动到晶圆承载室处,卸载另一片未加工晶圆,传送到加工腔体PCo处加载,PC2开始加工晶圆,所需时间为马。

   (4)以与第(2)、(3)步骤相同的方式加载晶圆到PG和P巳中。

   (5)移动到PC1处,卸载加工完成晶圆,传送至晶圆承载室LL处加载,所需时间为T2。