根据调度环境和任务的不同,车间调度和半导体生产线调度均可分为静态调度与动态调度两种类型。R02101集束型装备调度也有类似的分类,分别称为周期性调度和应急调度(非周期性调度)。

   周期性调度

   周期性调度属于静态调度,是指在集束型装各的状态和加工任务确定的前提下形成优化的调度方案的过程,该调度方案产生一个周期性机械手活动序列。周期调度是指装备由暂态进入稳定状态时刻幻和状态t/(勾),以确定的晶圆加工流程为输入,采用适当的调度

算法,在满足约束条件及优化日标的情况下,生成调度周期内的调度方案,称为基本周期。周期调度的约束条件包括加工模块能力约束、机械手能力约束和滞留时间约束等,优化目标为最大化产能。该调度方案一旦产生,所有晶圆的加工方案和机械手活动序列就被确定了,在以后的加工过程中也不再改变。