Pall公司和Matheson Tri-Gas公司日前宣布达成合作联盟，两家公司共同开发、制造和销售用于半导体制造领域的气体净化系统。

    据两家公司表示，这个联盟构建在Pall和Matheson公司之间，两家公司将会采用专有的净化媒介，通过除去微粒和分子污染物，提高半导体制造工厂的洁净度。另外，两家公司也将在新技术的研发中结合各自的开发力量。

    Pall Microelectronics公司总裁Steven Chisolm对这个规模达3,000万美元的市场表示乐观，称结成联盟后双方的技术将成为行业的事实标准。Matheson Tri-Gas公司首席执行官兼总裁William J. Kroll表示，“新的商业关系有助于改进我们的净化产品，并提高效率，在市场中提供更好的产品。”该公司是Nippon Sanso集团的一个成员。

    自从1997以来，两家公司就开始合作，当时Pall公司分销Matheson公司的point-of-use空气净化系统。1998年开始，Pall公司开始开发用于半导体制造的气体净化技术。