半无穷大样品的测量(如硅棒)。将I作选择开关旋至“调节”,“电流量程”为1mA,“电压量程”为~9O mV,按下电流开关,调节电流电位器,显示器显示值为6.28,调节好后按电流开关使之弹出,断开。TA62003AF再将工作选择开关旋至“测量”,调节“粗调”和“细调”,直至显示器显示000;按下电流开关,记下显示器显示值,再将“极性”开关拨至下方,读值,两值平均即为测量值。如果显示器显示闪烁的“000”,说明量程不合适,调整“电流量程”和“电压量程”旋钮,直至显示器出现稳定非零值,电阻率单位指示灯亮者即为所测电阻率的单位。在硅棒样品不同位置测量五点,记录测量值。注意:应满足样品边缘与探针的最近距离大于四倍探针间距。

   硅片的测量。方法同于硅棒的测量,调节电流电位器,显示值应为4.53。在硅片中`b、l/2R处、边缘处各测两点,记录数据。

   测量硅片厚度。用千分表测量硅片厚度(W),记录数据。

   数据处理和分析。半无穷大样品的测量值即为电阻率;硅片的电阻率是将测量数据代入式(A10)的计算值,形状修正系数参见设备使用说明书。