挑选好的制版玻璃。通过切ACS712ELCTR-20A-T割、铣边、例棱、倒角、粗磨、精磨、厚度分类、粗抛、精抛、超声清洗、检验、平坦度分类等I序后,制成待用的衬底玻璃。

   铬膜的蒸发

   铬版通常采用纯度99%以上的铬粉作为蒸发源,把其装在加热用的钼舟内进行蒸发。蒸发前应把真空度抽至10J mmHg以上.被蒸发的玻璃须加热。其他如预热等步骤与蒸铝工艺相似。

    蒸发后对铬膜的质量检查

   从真空室中取出蒸好的铬版,用丙酮棉球擦洗表面,然后放在白炽灯前观察。检查铬层是否有针孔,厚度是否均匀,厚薄是否适当。如果铬膜太厚,腐蚀时容易钻蚀,影响光刻质量。太薄则反差不够

高。铬膜的厚度可用透过铬版观察白炽灯丝亮度的方法,根据经验判断。精确的厚度必须用测厚仪测量。铬膜质量不好的常见毛病是针孔.产生原囚主要是玻璃基片的清洁度不够好、有水汽吸附、铬粉不纯、表面存在尘埃等。