等离子体中离子浓度主要和工作气体的气压有关。在原子电离概率相同时,升高工L7824CV作气体压力,离子浓度也相应升高。而在相同气压下,原子电离概率主要是由激发等离子体的电(磁)场特性决定的。升高两个极板之间的电压,电子在电场中获得的能量增加,在轰击原子时可转移的能量也增加,原子电离概率增加。直流电场,电子向阳极迁移并在阳极板上消失。

   实际应用的溅射装置通常是在两极板上加载交变电场,而在交变电场中的电子会在两个极板之间振荡,因此与气体原子碰撞使之电离的概率远高于直流电场情况。射频溅射就是用13,56MHz的交流电场击穿气体使其等离子体化的溅射方法。

   如果在等离子体内加上磁场,磁场方向与电场方向不平行时,自由电子在电场E与磁场B的共同作用下朝着E×B所指的方向漂移(简称E×B漂移),其运动轨迹由直线变为曲线,延长了到达阳极消失之前的运动距离,增加了与原子的碰撞并使之电离的概率。因此磁控溅射就是一种用特定磁场束缚并延长电子的运动路径,改变电子的运动方向,从而提高气体电离概率和有效利用电子能量的溅射方法。