加速器 离化物质失去电子变成离子后,还必须利用一强电场来吸引离子,使离子获得很大的速度, RF3161TR13以具有足够的能量注人靶片内。离子加速可采用“先加速、后分析”、“先分析、后加速”和“前后加速,中间分析”的方式。“先加速,后分析”时,分析时的电磁铁处于“地”电位,供电调试方便,但离子经加速后具有较高的能量,需要用大型的电磁铁以产生强大的分析磁场;加速能量改变时,又需要同时调节分析器。“先分析、后加速”日寸,分析器较小,改变离子加速能量时不需要调节分析器。但在加速过程中,由于电荷交换作用会影响束流强度 和注人离子的纯度。至于“前后加速,中间分析”的装置,若分析器不接地,则调试和供电不便;若分析器接地,则系统处于正、负高压,但注入机能量调节方便,范围宽广。

   扫描器 通常,离子束流截面是比较小的,约在mm2数量级,且中间密度大,四周密度小,这样的离子束流注入靶片,注人面积小且不均匀,根本不能用c扫描就是离子在整个靶片上均匀注人而采取的一种措施。扫描方式有:靶片静止,离子束在X、y两方向上做电扫描;离子束在Y方向上做电扫描,靶片沿X方向做机械运动;离子束不扫描,完全由靶片的机械运动实现全机械扫描。其中前两者用得较多。