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光学图形发生器的激光干涉系统

发布时间:2017/2/5 21:24:09 访问次数:850

   阿贝原则.在设计仪器的干涉定位系统时,应遵守阿贝原则。具体地说,阿贝ICR18650-30A原则在该干涉定位系统中,应包含两方面的内容:一是测量点应与被测点共线,即被测点在激光干涉仪测量点的运动方向延长线上,但由于结构的限制往往不能做到,此时被测点应尽量接近其延长线,以减小阿贝误差;二是参考点应选择在与被测点有关的点上,以保证测量精度。例如,图4 - 31所示美国GCA公司生产的光学图形发生器,其参考光束的反射镜安放在照相物镜上,可以避免由于变形引起物镜位置的变化而造成的误差。

   两光束在相干点的光强应尽量相等,以获得最清晰的对比度和最好的干涉图形。


   尽可能减少杂散光。减少光学零件的数目、镀膜、正确选择光学元件、在光路中加光阑以及采用偏振方法等,均可减少杂散光,可根据具体的仪器采取具体措施。

   激光干涉定位测量系统实例

   例4 -1  自动分步重复照相机中的激光干涉定位系统。

   是清华大掌研制的自动分步重复照相机中的激光干涉定位测量系统的光路图。本系统采用了半内腔式激光器,输出功率形>0. 5mW,激光束经反射镜1、3入射到析光镜9,光束被分成两束。一束透过析光镜9进入梯形棱镜10到固定立体直角锥棱镜2;另一束由析光镜反射并通过直角锥棱镜5和8把光束提高,经五角棱镜6转900,进入测量立体直角锥棱镜7。

   阿贝原则.在设计仪器的干涉定位系统时,应遵守阿贝原则。具体地说,阿贝ICR18650-30A原则在该干涉定位系统中,应包含两方面的内容:一是测量点应与被测点共线,即被测点在激光干涉仪测量点的运动方向延长线上,但由于结构的限制往往不能做到,此时被测点应尽量接近其延长线,以减小阿贝误差;二是参考点应选择在与被测点有关的点上,以保证测量精度。例如,图4 - 31所示美国GCA公司生产的光学图形发生器,其参考光束的反射镜安放在照相物镜上,可以避免由于变形引起物镜位置的变化而造成的误差。

   两光束在相干点的光强应尽量相等,以获得最清晰的对比度和最好的干涉图形。


   尽可能减少杂散光。减少光学零件的数目、镀膜、正确选择光学元件、在光路中加光阑以及采用偏振方法等,均可减少杂散光,可根据具体的仪器采取具体措施。

   激光干涉定位测量系统实例

   例4 -1  自动分步重复照相机中的激光干涉定位系统。

   是清华大掌研制的自动分步重复照相机中的激光干涉定位测量系统的光路图。本系统采用了半内腔式激光器,输出功率形>0. 5mW,激光束经反射镜1、3入射到析光镜9,光束被分成两束。一束透过析光镜9进入梯形棱镜10到固定立体直角锥棱镜2;另一束由析光镜反射并通过直角锥棱镜5和8把光束提高,经五角棱镜6转900,进入测量立体直角锥棱镜7。

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