衬底材料――蓝宝石、碳化硅、硅衬底

   到目前为止,Ⅲ族氮化物的生长基本都是在其他衬底材料上的异质外延。衬底材HA9P2525-5Z料的选择主要考虑下列因素:

    ①衬底与外延薄膜的晶格匹配 晶格匹配包含两个内容:首先是外延生长面内的晶格匹配,即在生长界面所在平面的某一方向上衬底与外延薄膜的匹配;其次是沿衬底表面法线方向的匹配。

    ②衬底与外延薄膜热膨胀系数的匹配 热膨胀系数的差异将导致外延薄膜质量下降,在器件工作中还会由于发热造成器件损坏。

   ③衬底与外延薄膜化学稳定性匹配 衬底材料需要有良好的化学稳定性。

   ④衬底材料成本可控,易于制备。

   应用于G焖基外延片的衬底商品化成熟的衬底材料主要是蓝宝石、碳化硅和单晶硅,而氮化镓同质衬底则是未来最理想的衬底材料。