对于LED来说,制作反光镜后,外延层转移到一个新的载体(GaAs,Si,Cu,蓝宝石等)上,JST6N80F然后把外延生长衬底去掉,这种类型的LED称为转移衬底LED,也称作薄膜发光二极管D7^3刨,ェ艺如图6-γ所示。

   转移衬底LED中,除了前述的GaP透明衬底和si衬底,目前转移衬底还有用绝缘透明的蓝宝石(~Al203)和AlN做衬底的结构。透明衬底必须要考虑的是衬底的反射镜,也就是说高反射率的反光镜是确保高性能的一个关键要素。LED中,一般有DBR、金属反光镜、ODR(omni-山rccticlnal Rcncct。r,全方位反射镜),如图⒍z所示卩5]。

   薄膜LED能极大提高光提取效率,其性能与透明衬底的AlGaInP LED相当,并可以大规模高效率生产。对于薄膜LED最重要的部分就是反光镜的制作、键合工艺和表面粗化等。