提高光提取效率的另一方法是表面粗化,即通过对LED的表面进行粗糙化,使其表面粗糙度提高,降低表面的镜面反射率,从而提高光的出射率。JST2N60U表面粗化可以分为规则图形和不规则图形。很多人对粗糙表面的反射做了研究,并且提出了很多研究表面粗糙度的理论,其主要差别在于被采用的表面轮廓的类型。粗化形状有很多种,如圆锥状、圆柱状、球面状、多面状、不规则状等,粗化的方式有湿法腐蚀和干法刻蚀,如电子束曝光技术制作光子晶体LED、金属纳米级颗粒掩膜、Ps-PMMA高分子纳米掩膜等l°s~剁。目前,LED表面粗化技术己被广泛地应用在商业化的产品中,如图⒍17所示,是鼎元光电科技股份有限公司报道的三棱柱形表面粗化大功率LED示意图。

   对转移衬底AlGaInP LED的n面进行粗化也是提高LED出光效率的一种途径,如图⒍18所示,在粗化后的表面制备一层ITo导电透光薄膜,既增加了光子的出射,同时增强了电流扩展,使器件的电学一光学特性同时得到了改善。粗化LED在1501mA下输出光功率达到33mW,如图⒍18(b)所示卩q。图⒍19显示提高AlGaInP LED出光效率的几种典型的方式,其中,表面粗化技术在p面出光和n面出光的器件中都有广泛的应用。