Mg比Zn在AlGaInP材料中的电离能小
发布时间:2016/8/2 19:50:37 访问次数:437
由于Mg比Zn在AlGaInP材料中的电离能小,且Mg的扩散系数小,采用Cp2Mg为掺杂剂可获得高的空穴浓度。AAT3112IVN-5.0-T1表3-3给出了在“0℃和720℃下Mg掺杂(AlyGalDo5In05P材料的空穴浓度lQl,其中Al组分x分别等于0.4和0.7。当∝=0.4时,在7⒛℃下可得到1.9×101:c盯3的空穴浓度,当F0.7时也可得到接近101:cn13的掺杂浓度。但是Mg在材料生长过程中有记忆效应,这是在重复性材料生长中需要注意的问题。
由于Mg比Zn在AlGaInP材料中的电离能小,且Mg的扩散系数小,采用Cp2Mg为掺杂剂可获得高的空穴浓度。AAT3112IVN-5.0-T1表3-3给出了在“0℃和720℃下Mg掺杂(AlyGalDo5In05P材料的空穴浓度lQl,其中Al组分x分别等于0.4和0.7。当∝=0.4时,在7⒛℃下可得到1.9×101:c盯3的空穴浓度,当F0.7时也可得到接近101:cn13的掺杂浓度。但是Mg在材料生长过程中有记忆效应,这是在重复性材料生长中需要注意的问题。
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