在中晟MOCVD等新型技术设备中,辐射高温计和反射率计已被成功集成于同一套测量系统内,使得设备装配简洁的同时提升了测量功能和数据处理能力。 A914BYW-4R7M翘曲率测量仪,又称光束挠度计(dcncct。mcter),专用来测量外延片的翘曲曲率。在外延生长中,外延层与衬底材料通常为异质外延生长,这样就容易产生应力。应力使外延片发生翘曲。通过测量翘曲率,来计算异质外延生长时由于晶格失配和热失配所产生的应力,反之可利用相关信息优化外延生长工艺和托盘的设计,实现衬底片上均匀的温场分布和材料的外延均匀生长,避免翘曲甚至裂纹出现,保证外延材料的高质量。例如,在GaN基LED外延生长过程中,通过监测翘曲率知晓实时生长时的应力情况,及时调整参数以规避过大弯曲,使得外延生长成功。又如,通过预知外延片在不同阶段翘曲情况,可以相应改变生长参数使在生长InGaN量子阱时衬底处于平坦状态且与基座有良好的热接触,从而改善衬底温度均匀性,提高器件发光波长的均匀性。

   图13所示的单光束挠度计四和多光束应力传感器挠度计(MOsS)P3]都是利用激光束近垂直入射到翘曲的外延片上反射光斑的位移,得出原位测量生长温度下的外延片的翘曲率,从而计算出应力P刨。