其中,层一层生长模式(或成核一生长模式,又称Fra酞~Van dcr Mc…c生长模式,简称FM或FVM模式)经常发生于晶格匹配和失配比较小, HD64F2318VTE25且衬底与外延层之间的键合能高的材料之间。其特点是在衬底表面先进行二维成核再扩展成层,一层生长完整后再开始新的一层的生长,如此重复的一种逐层晶体生长模式。该模式能获得晶体结构完整表面平坦的外延层。岛状生长模式(又称Volll1cr-Webcr生长模式,简称VW生长模式)主要发生于当外延层与衬底存在大晶格失配的情况时,在衬底表面会形成许多三维小岛。随着生长的继续进行,这些众多的小岛长大成为柱状岛,然后它们彼此汇聚,最终构成表面粗糙的连续膜。可以理解在岛状结构中含有大量失配位错以释放应变。通常在外延生长中一定要尽量避免形成岛状生长,以免晶体质量太差。层-岛生长模式(又称Stranski-IOdstanow生长模式),其特点是先生长薄的二维浸润层,当达到形成岛的临界厚度后续沉积的材料转变为三维岛状生长并在岛上聚集。遵循能量最低原理,在岛形成的过程中产生的新晶面一般是能量低的低指数面。