两批样品固定电荷密度分布
发布时间:2016/7/1 22:27:17 访问次数:585
表9.3中列出了两批样品的参数分布值,样品参数的均值反映了参数的分布中心,CAP007DG而标准差反映了参数偏离中心值的范围。标准差越小,表明工艺制造过程中的波动就越小,样品参数的均值和设计值越接近,工艺控制能力就越好。从表9.3中可以看到,s公司样品栅氧化层厚度的均值比H公司样品更接近设计值3.2nm。
制造工艺过程是将产品从设计图纸转变成实际产品的过程。它由对材料施行的一系列加工过程组成,使其从原材料或半成品状态逐步转变为最终所期望的状态,也即成为设计所要求的产品。随着工艺的进步,制造工艺的可重复性和精确性大为提高,操作人员的个人因素及其技术水平的高低对工艺过程的影响越来越少。然而从另一方面来讲,这一工艺过程是否具有连续稳定地加工出符合术要求的产品的能力还必须经过进一步的检验。
表9.3中列出了两批样品的参数分布值,样品参数的均值反映了参数的分布中心,CAP007DG而标准差反映了参数偏离中心值的范围。标准差越小,表明工艺制造过程中的波动就越小,样品参数的均值和设计值越接近,工艺控制能力就越好。从表9.3中可以看到,s公司样品栅氧化层厚度的均值比H公司样品更接近设计值3.2nm。
制造工艺过程是将产品从设计图纸转变成实际产品的过程。它由对材料施行的一系列加工过程组成,使其从原材料或半成品状态逐步转变为最终所期望的状态,也即成为设计所要求的产品。随着工艺的进步,制造工艺的可重复性和精确性大为提高,操作人员的个人因素及其技术水平的高低对工艺过程的影响越来越少。然而从另一方面来讲,这一工艺过程是否具有连续稳定地加工出符合术要求的产品的能力还必须经过进一步的检验。
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