在扫描电镜中，NCP584LSN12T1G二次电子的范围（波谱）是通过激发电子束得到的。其中部分波谱是从距表面几个纳米的地方释放的。这些电子，是大家熟知的俄歇电子( Auger electron)，有释放它们的元素的能量特征。因此，钠和氯分别释放不同的俄歇电子。

   俄歇电子的收集和解释能对包括污染物在内的表面材料进行表征。在操作过程中，电子束扫描整个晶圆表面，然后对释放的俄歇电子借助其波长大小，进行能量分析并得到“波长一能量”的二维x-y曲线（见图14. 31）。每一具体波长所对应的能量峰值将显示其表面存在的具体元素。

  扫描俄歇微量分析( SAM)对元素的表征有其局限性。这一技术不能表征元素的化学状态（可能和其他元素结合），以及其表面存在的数量。例如，食盐( NaCl)沾污仅表征在表面有钠和氯的存在。