有些测量技术是多用途的，JS28F128J3F75A如扫描电镜，在某一一范围内，  ．项新的技术是原子力显微镜( Atomic F'orce Microscopy，AFlM)、它是一个观测表面形貌的机器，能够让一个精密的平衡探针#j过表面（见图14.28）。探针和表面分离很小（大约2A）以至于表面和探测材料之间的原子力能影响到实际探测。探针在晶圆上移动时，精密的电f系统能测试探针的位置，所以可以绘制出表面的三维图像17（见图14. 29）

   获取最终图像    对应的高度(：)表格图14. 28原子力显微镜(AFM)（源自：Semiconductor Intemational）

    图14. 29原子力显微镜(AFM)的表面乏维图像

   原子力显微镜敏感度在l A范围内，并能在接触和非接触模式下实现操作。第一个原子力显微镜产品于1990年问世，它的投影仪图成为其检测宝库中不可缺少的一部分。，原子力显微镜的特性包括：表征颗粒尺寸、探测颗粒、测量表面粗糙度，以及提供所有三维关键尺寸测量。一种创新的用法是原子力显微镜探针和光学显微镜物镜相结合。