透射电镜： IRF530PBF标准的SEM设备分辨率范围在20~ 30 A陀，它对于ULSI集成电路器件检测造成一个障碍。煞而，透射电子束通过一个薄层样品时，其分辨率增至2A。分辨率的增加的确诱人，但样品的制备是一件很耗时并且需要高精度的事情。透射电镜(TEM)是用于实验中离线1-作的最好仪器。

   这一原理被用于测量膜厚度。在扫描电镜下，高能电子束产生X射线并以此方式脱离表面。幸运的是，X射线的能量由表面原子反射，并且能被分析以获得其他信息。，当一个X射线光谱添加到扫描电镜中，以探测分散X射线时，上述过程便可实现，获得的其他信息是关于材料（元素）的化学信息。

   光学轮廓曲线仪：这是一一种显微镜型仪器，它用一个光束分光器将光束分成两束。一束被反射到一个反射镜面．？结合反射光束引起的干涉，它依次提供表面的形貌和轮廓，它还能确定台阶的高度和提供3D图像。

   电容一电压曲线法：可动离子污染( MIC)是在工艺中结合进器件的电活性离子．、它们来自被污染的工艺材料、脏的工艺机台和腔室，以及环境污染。它们不能用表面的检测方法检测到。然而，在晶体管和二极管的电学测量中，它们显现来。、通过精确地掺杂制造半导体器件的各部分，MIC在器件中作为掺杂剂活动，并且改变器件的电性能。一个常用的电学测试是绘出MOS晶体管的电容一电压曲线。这种技术在关于器件电测试一节进行论。