离开加速管后，束流由于相同电荷的排斥作用而发散。分离（发散）导致离子密度不均匀和晶圆掺杂层的不均一。为使离子注入成功，AD7002AS束流必须聚焦。静电或磁透镜用于将离子聚焦为小尺寸束流或平行束流带|i131。平行离子束是极其重要的，尤其是对晶体管的栅的应用，因为离子束的偏差可能引起不均匀的掺杂剂的剂量，进而影响晶体管的性能。

 尽管真空去除了系统中的大部分空气，但是束流附近还是有一些残存的气体分子。离子和剩余气体原子的碰撞导致掺杂离子的中和：

   在晶圆内，这些电中性的粒子导致掺杂不均匀，同时由于它们无法被设备探测计数，还会导致晶圆掺杂量的计数不准确。抑制中性粒子流的方法是通过静电场板的方法将束流弯曲，中性的束流会继续沿直线运动而远离晶圆（见图11. 25）。