学习完本章后，你应该OTI002153能够：

   1．列出硅器件中，二氧化硅膜层的3种基本用途。

   2．描述热氧化机制。

   3．概略了解和讽别反应炉的基本结构组成。

   4．列出在热氧化反应中的两种氧化剂。

   5．简略画出干氧化反应的系统图。

   6．画出一个典型的氧化工艺流程图。

   7．解释在二氧化硅膜层经过热生长形成膜层厚度里的反应时间、压力及温度之间的相互关系。

   8．描述快速热氧化、高压氧化、阳极氧化的反应原理及用途。

参考文献

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