1．布线几何形状的影响

   从统计观点来看，LC6543N-4E07金属条是由许多含有结构缺陷的体积元串接而成的，而薄膜的寿命将由结构缺陷最严重的体积元决定。若单位长度的缺陷数目是常数，随着膜长的增加，总缺陷数也增加，所以膜条越长寿命越短，寿命随布线长度而呈指数函数缩短，在某值处趋近恒定。

   同样，当线宽比材料晶粒直径大时，线宽越大，引起横向断条的空洞形成时间越长，寿命增长。但当线宽降到与金属晶粒直径相近或以下时，断面为单个晶粒，金属离子沿晶粒界面扩散减少，随着条宽变窄，寿命也会延长.

   当电流恒定时，线宽增加，电流密度降低，本身电阻及发热量下降，电迁移效应就不显著。如果线条截面积相同，条件允许，增加线宽比增加厚度的效果要好。

   在台阶处，由于布线形成过程中台阶覆盖性不好，厚度降低，J增加，易产生断条。

   2．热效应

   由tMTF的公式可知，金属膜的温度及温度梯度（两端的冷端效应）对电迁移寿命的影响极大，当J >106 A/cm2时，焦耳热不可忽略，膜温与环境温度不能视为相同。特别是，当金属条的电阻率较大时，影响更明显。条中载流子不仅受晶格散射，还受晶界和表面散射，其实际电阻率高于该材料体电阻率，使膜温随电流密度-，增长更快。

   3．晶粒大小

   实际的铝布线为一多晶结构，铝离子可通过晶间、晶界及表面三种方式扩散，在多晶膜中晶界多，晶界的缺陷也多，激活能小，所以主要通过晶界扩散而发生电迁移。在一些粒的交界处，如图4. 15所示(A和B处)，由于金属离子的散度不为零，会出现净质量的堆积和亏损。在A点，进来的金属离子多于出去的，所以成为小丘堆积，B处则相反，成为空洞。