热电堆红外探测器通常由三部分组成：热电偶、介质支撑层和散热衬底。 CNB1002OR1SO通常热电堆红外探测器有三种结构。

   封闭膜结构[96]

   探测器中央是红外畈收层，负责吸收外界红外辐射，以升高自身的温度。红外吸收层及其附近位置就构成热电堆的热结。热电堆的冷结位于基体上，基体一般是导热性良好的物质，以实现良好的散热性，保持基体与环境的温度一致，图3-15所示基体为单晶硅。热结与冷结之间为串联的热偶对，温差电动势通过引

脚对外输出。为了提高探测器的性能，需要采取隔热措施，图3 -15中采取的是薄膜方式的隔热结构，即利用硅的各向异性腐蚀，从背后将体硅腐蚀掉，形成金第3章红外敏感元件及探测器    ．45．字塔型的槽，槽壁为慢腐蚀面( 111)，红外吸收层以及热偶对都位于该层之上，结构组成，称其为封闭膜就是指该支撑层与硅基体处处相连，在封装之后，形成上下两个空间。